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清洗半導(dǎo)體裝置的磷酸組合物水溶液.pdf

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期：2011-03-15  瀏覽次數(shù)：332
核心提示：清洗半導(dǎo)體裝置的磷酸組合物水溶液.pdf
本發(fā)明涉及多種含有磷酸的稀水溶液，和多種使用此稀水溶液從半導(dǎo)體基板清洗等離子體蝕刻殘?jiān)姆椒ā８鶕?jù)本發(fā)明的溶液優(yōu)選含有堿性化合物、一種或多種其它酸化合物和/或含氟化合物，并且可以任選含有例如有機(jī)溶劑、螯合試劑、胺和/或表面活性劑的附加組分。

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