<文摘>本發(fā)明提供一種能使液晶玻璃基板循環(huán)再利用、對(duì)于液晶玻璃
基板進(jìn)行化學(xué)拋光的方法及化學(xué)拋光裝置。所使用的化學(xué)拋光
液由氫氟酸及其鹽的混合液(其中的氫氟酸鹽為氟化銨、氟化
鉀和氟化鈉中的任一種或者多種),鹽酸、硫酸、磷酸和硝酸
等無(wú)機(jī)酸的一種或多種,醋酸和琥珀酸等有機(jī)酸的一種或者其
混合物,磺酸鹽類陰離子表面活性劑以及胺類兩性表面活性劑
組成。




