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液晶玻璃基板的化學(xué)拋光方法及化學(xué)拋光裝置.pdf

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2011-05-21  瀏覽次數(shù):524
核心提示:液晶玻璃基板的化學(xué)拋光方法及化學(xué)拋光裝置.pdf

<文摘>本發(fā)明提供一種能使液晶玻璃基板循環(huán)再利用、對(duì)于液晶玻璃
                基板進(jìn)行化學(xué)拋光的方法及化學(xué)拋光裝置。所使用的化學(xué)拋光
                液由氫氟酸及其鹽的混合液(其中的氫氟酸鹽為氟化銨、氟化
                鉀和氟化鈉中的任一種或者多種),鹽酸、硫酸、磷酸和硝酸
                等無(wú)機(jī)酸的一種或多種,醋酸和琥珀酸等有機(jī)酸的一種或者其
                混合物,磺酸鹽類陰離子表面活性劑以及胺類兩性表面活性劑
                組成。

 

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