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含有環(huán)狀氟化磺酸鹽表面活性劑蝕刻溶液.pdf

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期：2011-09-28  瀏覽次數(shù)：520
核心提示：含有環(huán)狀氟化磺酸鹽表面活性劑蝕刻溶液.pdf

【摘要】本發(fā)明提供了改進的二氧化硅蝕刻劑,由把作為表面活性劑的可溶性環(huán)狀氟化磺酸鹽添加到集成電路制作中所用的標準的氧化物蝕刻劑溶液中而獲得的. 　

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