本發(fā)明的課題為提供能夠抑制由含臭氧氣體的吹入而引發(fā)的發(fā)泡，可進行穩(wěn)定的處理的含表面活性劑的水的處理方法及處理裝置。解決方案為將含表面活性劑的水導入流路5中，以入口51向出口52 的方向流，在含表面活性劑的水流的多個位置，添加臭氧。臭氧添加量設為，在設置在距上述出口52最近的位置的最終段反應設備20中的添加量為最多。例如，在前段臭氧反應設備10和最終段臭氧反應設備20的2處添加臭氧時，在前段臭氧反應設備10上添加總臭氧添加量的5～40容量％程度，再在最終段臭氧反應設備20中添加剩余的臭氧。
