形成抗反射膜的組合物，其具有優(yōu)異的適用性，在產(chǎn)生超細(xì)微泡方面受到了顯著抑制，產(chǎn)生能夠足夠地減少駐波效應(yīng)的抗反射薄膜并且具有優(yōu)異的在水和堿性顯影液中的溶解性。所述形成抗反射膜的組合物包含：(A)由例如2-(甲基)丙烯酰氨基-2-甲基丙烷磺酸代表的含磺酸基的丙烯酰胺衍生物和例如由2，2，3，3，3-五氟丙基(甲基)丙烯酸酯代表的含氟代烷基的丙烯酸酯衍生物的共聚物(鹽)；和(B)表面活性劑，其0.1wt％的水溶液具有在25℃下測(cè)量的45mN/m或更低的表面張力。
