本發(fā)明提供了一種薄膜圖案制造裝置及方法，其提高了利用抗蝕劑印刷法來形成薄膜圖案的可靠性。該薄膜圖案制造裝置包括：輥形的印輥裝置，其上纏繞有覆層；噴射裝置，其位于所述印輥裝置周圍，用于向所述覆層噴射抗蝕劑溶液；以及具有雕刻形狀的印板，其上形成有具有期望的薄膜形狀的槽以及除該槽以外的突出部分，并且所述抗蝕劑溶液具有包含環(huán)氧乙烷氟化聚合物材料的表面活性劑。
發(fā)布日期：2008-01-24 瀏覽次數(shù)：324
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