表面活性劑以其特有的降低表面張力特性、分散懸浮及潤濕滲透作用在微電子工業(yè)中應(yīng)用越來越廣泛，尤其是在硅材料的切片、磨片、拋光及清洗工藝中的應(yīng)用已成為減少損傷、缺陷和污染的必不可少的輔助材料．本文主要對表面活性劑的作用機(jī)理及對硅表面性能的影響進(jìn)行分析討論．
發(fā)布日期：2007-12-29 瀏覽次數(shù)：309
表面活性劑以其特有的降低表面張力特性、分散懸浮及潤濕滲透作用在微電子工業(yè)中應(yīng)用越來越廣泛，尤其是在硅材料的切片、磨片、拋光及清洗工藝中的應(yīng)用已成為減少損傷、缺陷和污染的必不可少的輔助材料．本文主要對表面活性劑的作用機(jī)理及對硅表面性能的影響進(jìn)行分析討論．
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